更新時(shí)間:2024-07-02
LS單片晶圓清洗中空軸電機(jī)APM-HB07HCH-WN01晶圓容易吸附潮氣到表面.光刻膠黏附要求要嚴(yán)格的干燥表面,所以在涂膠之前要進(jìn)行脫水烘培和黏附劑的涂覆.有時(shí)要用到黏附劑,黏附劑通常使用HMDS(六甲基二硅胺脘),表面處理的主要作用是提高光刻膠與襯底之間的粘附力,使之在顯影過(guò)程中光刻膠不會(huì)被液態(tài)顯液滲透.
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LS單片晶圓清洗中空軸電機(jī)APM-HB07HCH-WN01
一、Spinner Motor中空軸電機(jī)的特點(diǎn)
1、中空軸高速電機(jī)結(jié)構(gòu):額定轉(zhuǎn)速:5000rpm,最大轉(zhuǎn)速6000-8000rpm
2、超快的加速/減速時(shí)間;
3、低噪音、低震動(dòng)、軸端跳動(dòng)系數(shù)低至;
4、軸孔采用真空空心軸設(shè)計(jì),軸端的設(shè)計(jì),確保chunk運(yùn)行平穩(wěn)
5、電機(jī)功率:750W,采
12寸勻膠清洗APM-HB07HCH-WN01中空
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