更新時間：2025-04-28
LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機一，Spinner Motor中空軸電機的特點1、中空軸高速電機結構：額定轉速：5000rpm，最大轉速6000-8000rpm2、超快的加速/減速時間；3、低噪音、低震動、軸端跳動系數(shù)低至；4、軸孔采用真空空心軸設計，軸端的設計，確保chunk運行平穩(wěn)5、電機功率:750W，采晶圓刻蝕固晶設備APM-HE30ACH大中空電機晶圓清
LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機
電機中空軸內孔主要用于透光、走線或通過空氣等其他媒介。
中空軸電機的設計極大優(yōu)化了機械設計、方便布線及節(jié)約設計空間和生產成本。
我公司生產的定制中空軸伺服電機可進行超平滑精準運動，廣泛應用于光學測量儀器。
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• 半導體清洗及刻蝕
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LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機
一、Spinner Motor中空軸電機的特點
1、中空軸高速電機結構：額定轉速：5000rpm，最大轉速6000-8000rpm
2、超快的加速/減速時間；
3、低噪音、低震動、軸端跳動系數(shù)低至；
4、軸孔采用真空空心軸設計，軸端的設計，確保chunk運行平穩(wěn)
LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機
韓國LS Spinner馬達，空心軸伺服電機應用于半導體晶圓電鍍，涂膠、去膠、顯影、清洗、固晶、蝕刻、晶圓鍵合、封測等設備中。部分型號如下：
1；中空軸伺服電機
100W APM-HB01AAH 增量式編碼器
200W APM-HB02AAH 增量式編碼器
400W APM-HB04AAH 增量式編碼器
900W APM-HE09ACH 增量式編碼器
900W APM-HE09ACH-TA 增量式編碼器
1.5KW APM-HE15ACH 增量式編碼器
APM-HE15AN0H-ZC01 單圈20位編碼器
3KW APM-HE30ACH 增量式編碼器
APM-HE30AN0H-ZC01 單圈20位編碼器
2;Spinner馬達
250W APM-HB03HBH-CD
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
250W APM-HB03HBH-CD1
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
250W APM-HB03HBH-GY
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
250W APM-HB03HBH-SH01
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
600W APM-HC06HBH
6寸 8寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
650W APM-HC06ACH-ZC03
8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
750W APM-HC07ACH-WN01
8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
750W APM-HC07HCH-100 8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
1.1KW APM-HE11DCH 防腐蝕，8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。
LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機
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